浙江芯科半導體的萬級潔凈車間內(nèi)，精密儀器持續(xù)嗡鳴，光刻機精準作業(yè)。每一片第三代SiC功率芯片的誕生，都離不開一個無形的守護者——高度穩(wěn)定的溫濕度環(huán)境與極致潔凈的空氣。

溫度波動超過±0.5℃，濕度失控數(shù)個百分點，都可能導致上百萬的晶圓報廢。這是中國半導體獨角獸芯科面臨的日常高壓挑戰(zhàn)，也是其發(fā)展路上必須跨越的能耗大山！

半導體制造是名副其實的“環(huán)境敏感型”產(chǎn)業(yè)。芯科半導體這類IDM企業(yè)，廠房規(guī)模宏大、設備投資高昂，對生產(chǎn)環(huán)境的控制近乎苛刻：

■ 溫度與濕度精密控制： 納米級制造工藝要求全年恒溫恒濕，波動范圍極小。

■ 空氣潔凈度保障： 極微小的塵埃都可能毀掉整片晶圓，高效過濾與氣流組織至關重要。

■ 不間斷可靠運行： 生產(chǎn)線全年無休，空調(diào)系統(tǒng)必須絕對穩(wěn)定，停機即是重大生產(chǎn)事故。

■ 巨大能耗壓力： 龐大的空間與嚴苛的溫濕度需求，使暖通空調(diào)成為廠區(qū)“電老虎”，降耗迫在眉睫。

面對芯科半導體獨特的生產(chǎn)流程與空間布局，歐博空調(diào)沒有提供“通用答案”。項目團隊深入一線，精準測繪分析，最終交出一套高度匹配的定制化空調(diào)矩陣：

圖|機組現(xiàn)場照片

【四管制模塊式風冷熱泵機組】化身廠區(qū)冷熱源“心臟”，四管制設計實現(xiàn)制冷制熱獨立精準調(diào)控，輕松應對辦公區(qū)、研發(fā)區(qū)等不同區(qū)域的動態(tài)負荷需求，提升整體能效。

【模塊式風冷冷水（熱泵）機組】按需靈活組合，為潔凈車間循環(huán)提供穩(wěn)定冷源，其模塊化特性大幅降低單點故障風險，保障生產(chǎn)連續(xù)性。

【ZKW系列組合式空調(diào)機組】作為潔凈室環(huán)境的“精密調(diào)校師”，集成高效過濾、深度除濕、精準溫控單元，確保核心生產(chǎn)區(qū)域空氣參數(shù)始終如一，潔凈度穩(wěn)定達標。

【FP系列風機盤管】分布式部署于辦公及輔助空間，安靜高效，獨立溫控，實現(xiàn)舒適與節(jié)能的完美統(tǒng)一。

這套系統(tǒng)不僅是設備的組合，更是歐博在電子半導體領域深厚know-how的結(jié)晶。針對半導體廠房的靜電防控、微振隔離、電磁兼容等隱形需求，方案中植入了特殊設計：

▲ 氣流組織經(jīng)優(yōu)化，消除死角，保障潔凈度均勻穩(wěn)定；

▲ 關鍵設備采用高效變頻與熱回收技術(shù)，能耗顯著低于傳統(tǒng)方案；

▲ 智能群控系統(tǒng)實現(xiàn)多機組高效協(xié)同，按需輸出，避免能源空耗。

“歐博的方案真正讀懂了我們的痛點，”芯科半導體項目負責人反饋，“運行一年多來，空調(diào)系統(tǒng)零意外停機，潔凈室參數(shù)始終完美達標。更驚喜的是，經(jīng)實測對比，整體空調(diào)能耗較預期大幅度降低，一年節(jié)省電費達百萬量級?！?/strong>

從一顆芯片的誕生，到一座“綠色工廠”的運轉(zhuǎn)，歐博空調(diào)憑借在電子半導體領域數(shù)十年的深耕，打造的覆蓋項目全生命周期的一體化解決方案（從前期規(guī)劃設計、設備定制，到中期集成實施、調(diào)試驗收，再到后期智慧總控與智能運維）已助力國內(nèi)外數(shù)十家知名芯片制造企業(yè)破解環(huán)境控制與能耗困局。

在半導體這條“精密至上”的賽道上，穩(wěn)定與節(jié)能是永不退潮的競爭力！歐博空調(diào)依托深厚技術(shù)積累，以高效節(jié)能的產(chǎn)品、高度定制化的系統(tǒng)解決方案和快速響應的服務網(wǎng)絡，正成為越來越多像芯科半導體這樣的行業(yè)領軍企業(yè)背后，不可或缺的“環(huán)境守護者”與“能耗破解專家”。